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ASTeX AX3060-14 射频匹配器 智能控制器模块 卡件模块
参数
  • 卡件模块产品特性
  • 否是否进口
  • 美国产地
江西 瑞昌市 30天内发货 100个
瑞昌明盛自动化设备有限公司 6年
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产品详情

产品实拍


产品特色

ASTeX AX3060‑14 射频匹配器

1、ASTeX AX3060‑14 半导体等离子射频自动匹配器

2、自动阻抗调节，匹配腔体等离子负载

3、降低反射功率，保护射频电源

4、快速调谐，适配工艺阻抗动态变化

5、内置功率检测，采集入射反射功率

6、水冷散热，适配高功率工况

7、硬件过流过温保护，故障告警输出

8、通讯接口对接设备主控

9、紧凑型模块，便于腔侧安装

10、抗等离子溅射，延长使用寿命

11、支持刻蚀、薄膜工艺腔体使用

12、工艺配方调用，记忆匹配参数

13、可 7×24 小时不间断量产运行

14、输出故障代码，方便维护排查

15、ASTeX AX3060‑14 适配微波 / 射频等离子系统

ASTeX AX3060‑14 射频匹配器，用于半导体工艺设备，实现射频电源与真空腔等离子负载阻抗匹配，稳定等离子放电

企业介绍
企业简介：

 

瑞昌明盛自动化设备有限公司是一家专业 （DCS系统）（机器人系统）（大型伺服控制系统）模块 备件销售,公司产品内容为分布式控制系统(DCS) ,可编程序控制器(PLC)， MOTOROLA MVME工业用模组 ，工业控制通訊转换器(Anybus) ，远端输出/输入模块(RTU) ，工业电脑(IPC)、 工业用低頻萤幕(IPC) ，人机界面SCSI(50,68,80Pin) AnyBus(Gateway 

公司自成立以来始终坚持以纯电子商务模式运营，缩减中间环节，为消费者在***时间提供优质的产品及满意的服务，为您的生产以及采购工作提供‘安全 快捷 方便’ 


售后说明

  • 物流配送

  • 我们使用顺丰快递/德邦快递

  • 付款方式

  • 对公付款，全款到账发货

  • 退换货政策

  • 所有产品享受一年保修期

  • 票据制度

  • 可开具增值税发票


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