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参数
- 日本爱发科ULVAC品牌
- CGM2-051型号
- 1～50 amu适用范围
四川 成都
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产品详情
高压工艺（溅射工艺）
Qulee CGM2 系列
CGM2-051
ULVAC
ULVAC的新型工艺气体分析仪/工艺气体监控器(RGA)，同时实现了高压下(1Pa以下)的高精度、高分辨率以及革命性的简单易操作性。
它是响应各种生产线设备技术的要求而出现的工艺监控器的新标准。 最适合溅射设备的工艺管理（提高品质、提高良率）。
特点
显示部分一体化设计・・・无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能・・・对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作
过程监控不需要差动排气系统・・・可测量1Pa以下、更节省空间
增强检漏功能
可以测量总压力
标准搭载Qulee QCS软件
符合CE
用途
溅射设备的残留气体分析、工艺监测、杂质管理 (H2O)
各种真空设备的检漏
规格
分解能
M/△M=1M(10% P.H.)
| 型号 | CGM-051 | CGM-052 |
| 质量分离方式 | 四极型质量分析仪 | |
| 质量数范围 | 1～50 amu | |
| 检出器 | 法拉第杯 | 二级电子倍增管／ 法拉第杯 |
| 感度 | 0.1uA/Pa | 0.1mA/Pa |
| 最小检知分圧 | 1x10-7Pa | 1x10-10Pa |
| 使用圧力 | 2Pa | 2Pa(FC) 1x10-2Pa(SEM) |
| 线性 | 1Pa | |
| 全压力测量功能 | 有 | |
| 一键检漏功能 | 有/He/H2O/N2/O2/Any gas | |
| 电源电压 | DC24V±10％ 50W | |
| 烘烤 可能温度 (传感器单元连接时) | 120℃ | |
| 烘烤 可能温度 (传感器单元移除时) | 250℃ | |
| 使用温度范围 | 10～40℃ | |
| 接口 | Ethernet | |
| 软件 | Qulee QCS Ver.4.0以降（Windows XP/7适用） | |
| 符合标准 | CE | |
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产品参数
- 日本爱发科ULVAC
- CGM2-051
- 1～50 amu
