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参数
- 日本爱发科ULVAC品牌
- BGM2-201型号
- 1～50 amu适用范围
四川 成都
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产品详情
基本工艺
Qulee BGM2 系列
BGM2-201
ULVAC
带有差动排气系统的四极质谱仪（ Q u l e e w i t h Y T P - H ）是ULVAC结合Q u l e e的丰富实际成果和顾客的需求开发的，实现了功能的充实和使用的简易。
多种真空设备的工艺管理，残留气体分析到R&D都可广泛应用。
特点
***的性价比 通过差分排气系统，可以在1台设备上实现从过程监控到残余气体分析（RGA）
紧凑的设计 采用标准排气装置Desktop YTP的紧凑型设计
显示部分一体化的设计 无需电脑也可进行测量
操作简单 - One Click机能（对每个人来说都很容易，不需要复杂的操作）
可以进行大气压分析 包括大气压分析在内，还有监测3000Pa，500Pa，100Pa，10Pa和1Pa的规格
可根据应用选择型号 质量数1 ～ 100（BGM2-101/102）、1 ～ 200（BGM2-201/202）、 1 ～ 300（HGM2-302）
低噪音： 运行时43dB(A)以下
无需真空计专用显示器：真空计信号可以在操作屏上显示（真空计可选）
完整的检漏功能 可以进行氦气检漏和漏气测试
Qulee可对应Ethernet 标准配有QCS(Ver.4) 软件（Windows 7/8/10）
用途
研究开发用途的各种气体分析
溅射设备、真空蒸发设备等工艺中的气体监测
溅射设备、真空蒸发设备等的残留气体分析
高真空排气设备的残留气体分析
真空渗碳炉末端和氧浓度的确认
冷冻干燥设备的干燥点和杂质的确认
规格
Resolution M/△M=1M(10% P.H.)
| Model | BGM2-101 | BGM2-201 | BGM2-102 | BGM2-202 |
| Mass filter type | Quadrupole | |||
| Mass range | 1～100 amu | 1～200 amu | 1～100 amu | 1～200 amu |
| Detector type | Faraday cup | EM tube Faraday cup | ||
| Sensitivity | 10-7A/Pa | 4A/Pa | ||
| Minimum detectable partial pressure | 10-8Pa | 10-12Pa | ||
| Maximum operating pressure | 1x10-2Pa | |||
| Total pressure function | Capable/10-2 〜10-5Pa | |||
| One Click function | Capable /He/H2O/N2/O2/Any gas | |||
| One Click leak test function | Capable | |||
| Power input | DC24V±10％ 50W | |||
| Maximum sensor operating temperature | 120℃ (248℉ ) | |||
| Maximum bakeout temperature (electronics removed) | 250℃ (482℉) | |||
| Operating temperature range | 10 to 40℃ (50 to 104℉ ) | |||
| Software | Qulee QCS Ver.4 later (Windows 7/8/10) | |||
| Applicable standard | CE | |||
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产品参数
- 日本爱发科ULVAC
- BGM2-201
- 1～50 amu
